基于 CST 多物理场耦合的 MEMS 传感器电磁 – 热 – 力综合仿真与可靠性分析方案
以下是基于CST多物理场耦合的MEMS传感器电磁-热-力综合仿真与可靠性分析方案的详细框架,结合理论分析、仿真…
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